実験装置_低温物質科学実験室

トップ > 研究設備

低温測定装置 Low temperature measurements

9/11T 超伝導マグネットシステム Superoconducting magnet system
	1.5 K-325 Kの温度範囲、11 Tまでの磁場中で輸送特性を手軽に測定．大口径：63.5mmφ

トップローディング式³Heクライオスタット Top loading ³He cryostat
	260 mKまでの極低温、8 Tまでの磁場中で輸送特性を測定．トップロードなので試料交換が簡単．

磁場勾配型超伝導マグネットシステム Faraday magnet
	8 Tの磁場中で6 T/mの磁場勾配を発生．ファラデー法の磁化測定に最適．大口径：63.5mmφ．

ベクトルマグネットシステム Vector magnet system
	水平7 T，垂直3 Tの超伝導磁石を組み合わせて任意方向の磁場を試料にかけることができます．

SQUID磁化測定システム SQUID magnetometer
	最大磁場： 5.5 T，温度範囲： 1.8－400 KでDC磁化測定ができます．

走査SQUID顕微鏡 Scanning SQUID microscope
	試料上を走査するSQUID素子を用いて，試料表面の磁場分布を観察する磁気顕微鏡．

10T高均一超伝導マグネットシステム Highly homogeneous SC magnet

³He-⁴He希釈冷凍機 Dilution refrigerator
	準備中

試料作製 Sample preparation

超高真空EB蒸着装置 Ultrahigh vacuum evaporation system
	電子ビームガンによりTi，Pt，Wといった高融点金属の蒸着が可能．

真空蒸着装置 High vacuum evaporation system
	古い装置を研究室でリファインしました。-150℃～500℃の基板温度での蒸着だけでなく各種雰囲気中アニールもできます。

３元DC/RFスパッタ装置 DC/RF 3-target sputtering system
	金属薄膜の作製に使用．

３元RFスパッタ装置 RF 3-target sputtering system
	主に銅酸化物高温超伝導薄膜の作製に使用．

各種マッフル炉 Muffle furnaces
	最高温度1000℃～1350℃の電気炉．結晶試料作製、熱処理が可能．

赤外線加熱真空炉 Infrared image furnace
	真空を含む、各種雰囲気中で熱処理が可能．特に短時間ので1200℃までの加熱と冷却が特徴．

試料評価・装置評価 Characterization & evaluation

X線回折装置 X-ray diffraction meter
	主に粉末X線回折法による構造解析が可能．

触針式段差計 Probe type step profiler
	1 nmから10 μmの範囲で薄膜の厚さが測定可能．

ヘリウムリークディテクタ Helium leak detector
	低温装置，真空装置の高精度の漏れ検査が可能．

手作り装置 Handmade devices

PRD (Portable Resistance Dipper)
	室温～4.2 Kまでの電気抵抗の温度依存性が手軽にできます．

クライオスタット用各種測定プローブ Variou probes for cryostat
	実験内容に合わせてシンプルな輸送特性用から角度回転式等の測定プローブを手づくりしています。

キャパシタンス型磁気天秤 Capacitance load cell for the Faraday-type magnetometer

³Heクライオスタット Handmade ³He cryostat

スーパーボンディングマシン”神業くん” Wire bonding machine "Kami-Waza-kun"
	局所的端子付け装置．50 μm幅で半田付けが可能です。