リークディテクター

LEYBOLD社 UL200
真空およびスニファーモードでの検出可能
最高検知感度:5´10-11 mbar×l/s
インレットポート圧力:2 mbar以下
立ち上がり時間:3分以下
排気性能:1 l/s以上(FINE)
 0.3 l/s以上(GROSS)
重量:32 kg キャスター付

利用申し込み先 

ltcenter@imr.tohoku.ac.jp